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套刻精度量测设备

DRAGONBLOOD
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产品介绍

该系列设备主要应用于集成电路光刻工艺套刻误差测量,通过将数据建模并反馈给光刻机以帮助光刻机优化不同层之间的光刻图案对齐误差,最终达到提高套刻对准精度的目的。

产品特点

1、亚纳米级套刻测量精度,全面覆盖2Xnm及以上工艺需求多样化工作模式,保障工艺波动下的鲁棒性 

2、预防性诊断和自动校准,保障设备稳定运行

3、Recipe自动优化,及数据集中管理,节约人力成本

4、多维度测量结果评价和展示,快速聚焦工艺问题

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